1.真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5
2.离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7
3.测量误差： ＜10%
4.测量分辨率： 10-5pa
5.允许环境温度： -20℃～50℃
6.空气湿度： ≤80%RH
7.电源： AC，220V，50Hz±10%
8.外型尺寸： 420×290×210（mm）
9.高压输出： 脉冲30kV15kHz
⒑重量： 8kg
